En comparación con la pulverización tradicional de dos fluidos, la pulverización ultrasónica tiene las ventajas de una alta uniformidad de recubrimiento, alta utilización de materia prima, alta precisión en el control del espesor del recubrimiento, espesor del recubrimiento más delgado, menos salpicaduras, sin obstrucciones de las boquillas y bajos costos de mantenimiento. En comparación con la evaporación al vacío, CVD y otros procesos de recubrimiento, la pulverización ultrasónica es un proceso de recubrimiento de película delgada más económico, especialmente para la preparación de películas en áreas más grandes. El costo de los equipos de pulverización ultrasónica es mucho menor que el de los equipos de revestimiento al vacío. Presentemos brevemente estas principales ventajas de la pulverización ultrasónica.
Alta uniformidad de recubrimiento
La uniformidad de la distribución de partículas líquidas después de ser atomizadas por la boquilla ultrasónica es significativamente mayor que la de la boquilla de dos fluidos, también conocida como pistola de pulverización de aire, de modo que la uniformidad del recubrimiento después de la pulverización por boquilla ultrasónica también mejora significativamente. Generalmente, la uniformidad del recubrimiento por pulverización ultrasónica puede alcanzar más del 95%.
2. Alta utilización de materia prima y menos salpicaduras
Debido a que la pulverización ultrasónica es atomización líquida por vibración ultrasónica, el recubrimiento no se atomiza durante el proceso de atomización, es decir, el proceso de atomización no requiere presión, y solo se aplica una presión de gas portador muy baja después de la atomización para transportar la neblina líquida. Reduce en gran medida el rebote del líquido y las salpicaduras causadas por el aire a alta presión rociado por dos fluidos, mejorando así en gran medida la tasa de utilización del recubrimiento. La tasa de utilización de la materia prima de la pulverización ultrasónica es más de 4 veces mayor que la de la pulverización con aire ordinario, y la tasa de utilización puede alcanzar más del 90%.
3. Alta precisión en el control del espesor del revestimiento.
El factor principal que afecta la precisión del espesor del revestimiento es el caudal de pulverización del revestimiento, es decir, la cantidad de material transportado sobre el sustrato por unidad de tiempo. El cabezal de pulverización ultrasónico no tiene ninguna presión sobre el líquido, por lo que puede controlar completamente el flujo de líquido del recubrimiento de pulverización atomizado mediante una bomba dosificadora de alta precisión, logrando así un control de flujo de pulverización de alta precisión. Como una bomba de jeringa de alta precisión, su precisión de control de flujo puede alcanzar el nivel de picolitros por segundo, y el diseño de microcanal de la boquilla ultrasónica también puede lograr la precisión de control general de nanolitros por segundo.
4. El espesor del revestimiento delgado puede alcanzar decenas de nanómetros
Debido a que el volumen de pulverización del cabezal de pulverización ultrasónico puede lograr un caudal estable muy bajo (0,001 ml / min), puede lograr una cantidad de carga muy pequeña en el sustrato, logrando así una película seca muy fina. Para algunos nanomateriales, el espesor de la película seca puede ser tan bajo como decenas de nanómetros. Se puede utilizar para preparar películas delgadas de vidrio, como película conductora transparente, película antirreflectante, película protectora contra el calor y película hidrófoba.
5. Sin obstrucciones de boquillas y bajo costo de mantenimiento.
Debido a que la boquilla ultrasónica es un líquido atomizado por oscilación ultrasónica, y las partículas atomizadas están determinadas por la frecuencia de oscilación ultrasónica, es diferente de la boquilla de dos fluidos. El diámetro de la boquilla no necesita ser muy pequeño para lograr partículas finas atomizadas, por lo que reduce el riesgo de obstrucción de la boquilla.